Bc. Daniel Mrena 

Utorok 23.05.2023 o 9:00 v BB425

Diplomová práca opisuje vybudovanie plne automatizovaného pracoviska laserovej interferenčnej litografie na prípravu difrakčných mriežok s vysokou variabilitou symetrií a periód. V práci sú popísané difrakčné mriežky, ich typy a vlastnosti. Hlavná časť práce je venovaná návrhu a realizácii prestaviteľnej Mach-Zehnderovej litografie. Prestaviteľnosť je dosiahnutá umiestnením zrkadiel na rotačné posuny a umiestnením vzorky na lineárny posun. Funkčnosť pracoviska je demonštrovaná na sérii difrakčných štruktúr, ktoré pozostávajú z konvenčných mriežok ako aj s Moiré a supermriežok. Ďalším výstupom práce sú merania všesmerových odrazových spektier niektorých pripravených štruktúr.